摘要：揭示了一種半導(dǎo)體工藝氣路顯示裝置。該裝置包括面板和設(shè)置在面板上的氣路模擬圖，所述氣路模擬圖包括：線路，用于表示輸送氣體的管路；指示燈，設(shè)置在線路上，用于表示控制管路氣體流通的對應(yīng)電磁閥的通斷狀態(tài)；數(shù)字顯示模塊，設(shè)置在線路上，用于顯示對應(yīng)管路的氣體壓力和/或氣體流量。通過采用設(shè)置在面板上的氣路模擬圖來顯示電磁閥的實(shí)際通斷狀態(tài)、管路的氣體壓力以及氣體流量，便于監(jiān)視氣路狀態(tài)，造價(jià)低廉，使用簡單。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人慕曉航;張海輪;盧言曉;
- 地址100015 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號M2樓2層
- 申請?zhí)?/b>CN201320881824.5
- 申請時間2013年12月30日
- 申請公布號CN203746799U
- 申請公布時間2014年07月30日
- 分類號H01L21/00(2006.01)I;
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