摘要：本發(fā)明公開(kāi)了一種化學(xué)制劑處理系統(tǒng)，包括構(gòu)造相同的第一子系統(tǒng)和第二子系統(tǒng)、用于在兩個(gè)子系統(tǒng)之間進(jìn)行切換的第一方向切換閥、第二方向切換閥和第三方向切換閥以及工藝單元和在線化學(xué)分析儀。本發(fā)明的系統(tǒng)可以在不需要時(shí)間以重新注入化學(xué)制劑的情況下利用兩個(gè)相同子系統(tǒng)的切換持續(xù)地向工藝單元提供化學(xué)制劑；該系統(tǒng)利用在線化學(xué)分析儀的幫助，可以循環(huán)再利用在工藝單元中已使用過(guò)的化學(xué)制劑，降低生產(chǎn)成本；該系統(tǒng)可快速而準(zhǔn)確地控制化學(xué)制劑的溫度、流量和壓力。
- 專(zhuān)利類(lèi)型發(fā)明專(zhuān)利
- 申請(qǐng)人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人裴立坤;昝威;何金群;王銳廷;
- 地址100016 北京市朝陽(yáng)區(qū)酒仙橋東路1號(hào)M2號(hào)樓2層
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201010624099.4
- 申請(qǐng)時(shí)間2010年12月31日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN102122608A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2011年07月13日
- 分類(lèi)號(hào)H01L21/00(2006.01)I;
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