摘要：本發(fā)明涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置領(lǐng)域。本發(fā)明的一種低氧控制系統(tǒng)，包括依次連接的氮?dú)廨斔脱b置、循環(huán)風(fēng)機(jī)和處理腔室，其中，所述處理腔室外部還連接有循環(huán)管路和氧氣分析儀，所述氧氣分析儀的另一入口端與氮?dú)廨斔脱b置連接，所述循環(huán)風(fēng)機(jī)上還安裝有換氣閥門。本發(fā)明低氧控制系統(tǒng)，能控制相對(duì)空間(即微環(huán)境)中的氧氣濃度，從而有效控制晶片的自然氧化狀況。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人林松;趙星梅;鐘華;
- 地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN200910260767.7
- 申請(qǐng)時(shí)間2009年12月31日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN101789359B
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2012年03月07日
- 分類號(hào)H01L21/00(2006.01)I;
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