小型臺式無掩模光刻系統(tǒng)
小型臺式無掩模光刻系統(tǒng)是英國Durham Magneto Optics公司專為實驗室設(shè)計開發(fā)，為微流控、SAW、半導(dǎo)體、自旋電子學(xué)等研究領(lǐng)域提供方便的微加工方案。
| 傳統(tǒng)的光刻工藝中所使用的鉻玻璃掩模板需要由專業(yè)供應(yīng)商提供，但是在研發(fā)環(huán)境中，掩模板的設(shè)計通常需要經(jīng)常改變。無掩模光刻技術(shù)通過以軟件設(shè)計電子掩模板 的方法，克服了這一問題。與通過物理掩模板進行光照的傳統(tǒng)工藝不同，激光直寫是通過電腦控制一系列激光脈沖的開關(guān)，在光刻膠上直接曝光繪出所要的圖案。Microwriter ML 3 是一款多功能激光直寫光刻系統(tǒng)，具有結(jié)構(gòu)小巧緊湊(70cm X 70cm X 70cm)，無掩模直寫系統(tǒng)的靈活性，還擁有高直寫速度，高分辨率的特點。采用集成化設(shè)計，全自動控制，可靠性高，操作簡便。適用于各種實驗室桌面。 |
產(chǎn)品特點
| Focus Lock自動對焦功能Focus Lock技術(shù)是利用自動對焦功能對樣品表面高度進行探測，并通過Z向調(diào)整和補償，以保證曝光分辨率。 | 光學(xué)輪廓儀Microwriter ML3 配備光學(xué)輪廓探測工具，用于勻膠后沉積層，蝕刻層，MEMS等前道結(jié)構(gòu)的形貌探測與套刻。Z向高精度100 nm，方便快捷。 |
| 直寫前預(yù)檢查軟件可以實時顯微觀測基體表面，并顯示預(yù)直寫圖形位置。通過實時調(diào)整位置、角度，直到設(shè)計圖形按要求與已有結(jié)構(gòu)重合，保證直寫準確。 | 標記物自動識別 點擊“Bulls-Eye”按鈕，系統(tǒng)自動在顯微鏡圖像中識別光刻標記。標記物被識別后，將自動將其移動到顯微鏡中心位置。 |
| 簡單的直寫軟件MicroWriter 由一個簡單直觀的Windows界面軟件控制。工具欄會引導(dǎo)使用者進行簡單的布局設(shè)計、基片對準和曝光的基本操作。該軟件在Windows10系統(tǒng)下運行。 | Clewin 掩模圖形設(shè)計軟件? 可以讀取多種圖形設(shè)計文件（DXF, CIF, GDSII, 等）? 可以直接讀取TIFF, BMP 等圖片格式? 書寫范圍只由基片尺寸決定 |
產(chǎn)品參數(shù)
| Microwriter ML3 | 基本型 | 增強型 | 旗艦型 |
| 樣品尺寸 | 155×155×7mm | 155×155×7mm | 230×230×15mm |
| 直寫面積 | 149mm x 149mm | 149mm x 149mm | 195mm x 195mm |
| 曝光光源 | 405 nm LED 1.5W | 405 nm LED 1.5W | 385 nm LED 適用于SU-8 （365+405nm雙光源可選） |
| 直寫分辨率 | 1μm | 1μm and 5 μm | 0.6μm, 1μm, 2μm, 5μm |
| 直寫速度 | 20mm2/min @ 1μm | 20mm2/min @ 1μm120mm2/min @ 5μm | 25mm2/min @ 0.6μm50mm2/min @ 1μm100mm2/min @ 2μm180mm2/min @ 5μm |
| 對準顯微鏡鏡頭 | x10 | x3 and x10 自動切換 | x3, x5, x10, x20 自動切換 |
| 多層套刻精度 | ±1μm | ±1μm | ±0.5μm |
| 小柵格精度 | 200nm | 200nm | 100nm |
| 樣品臺小步長 | 100nm | 100nm | 50nm |
| 光學(xué)輪廓Z分辨率 | 無(可升) | 300nm | 100nm |
| 樣品表面自動對焦 | 是 | 是 | 是 |
| 灰度直寫(255) | 是 | 是 | 是 |
| 自動晶片檢查工具 | 無(可升) | 有 | 有 |
| 溫控樣品腔室 | 無 (可升) | 無 (可升) | 有 |
| 虛擬模板校準工具 | 無(可升) | 無(可升) | 有 |
| 氣動減震光學(xué)平臺 | 無(可升) | 無(可升) | 有 |
應(yīng)用實例
直寫分辨率1μm
直寫分辨率0.6μm
灰度直寫
微結(jié)構(gòu)/微器件/微電極制備
