Hiden SIMS 工作站(SIMS Workstation－a complete SIMS Analysis Facility) ，綜合UHV / SIMS 設(shè)備，進(jìn)行的表面分析?？煽康摹⑵毡檫m用的SIMS分析工作站。

應(yīng)用：

    · 各類型樣品的快速轉(zhuǎn)向
    · 靜態(tài)、動(dòng)態(tài)SIMS
    · 整合的離子源，便于RGA和SNMS
    · 表面改性/ 光柵研究
    · SIMS 表面繪圖/ 成像
    · 表面污染物分析


特點(diǎn)：

    · Hiden EQS SIMS 分析儀，運(yùn)行于 MASsoft O/S 之下，檢測至 ppb
    · 陰、陽離子、中性粒子、自由基的質(zhì)量、能量分析儀
    · 基本的激發(fā)源選擇：帶差式泵的Hiden IG20 Ion, IFG200 FAB 或
         高性能液態(tài)鎵槍
    · 整合的離子槍光柵控制和信號(hào)選通，進(jìn)行深度分析
    · 絕緣體研究中的電子流槍用于電荷中和
    · 液氮冷井和真空室烘烤加熱器
    · 快速樣品傳遞，樣品固定，負(fù)載鎖定的操縱器
    · 4 軸：X, Y, Z, θ UHV 操縱器，以定位樣品
    · 加上ESM LabVIEW和SIMS 成像程序，進(jìn)行SIMS元素成像
    · 靜態(tài)SIMS譜圖庫可用
    · 自動(dòng)的SIMS 離子光學(xué)透鏡調(diào)諧和質(zhì)量數(shù)列表，使SIMS性能