摘要：本實(shí)用新型公開了一種基于環(huán)形反射腔匯聚激光束的微探針尖端熱加工裝置，涉及微探針尖端加工制造領(lǐng)域。該裝置包括：激光發(fā)生器、圓錐反射鏡、環(huán)形激光反射腔、激光吸收器、微探針支架和位移平臺(tái)。所述的激光發(fā)生器發(fā)出的激光束經(jīng)過(guò)圓錐反射鏡的反射后形成環(huán)形光進(jìn)入環(huán)形激光反射腔中，再在環(huán)形激光反射腔的作用下匯聚到微探針尖端對(duì)其加工。采用該方法對(duì)微探針進(jìn)行熱加工，能夠使微探針尖端均勻受熱并提高熱應(yīng)力分布均衡性，加工后的微探針不易彎曲、不易變形，具有高幾何對(duì)稱精度，有利于形成高質(zhì)量的微探針尖端形貌，滿足微細(xì)加工及精密測(cè)量對(duì)微探針尖端幾何形貌的精度要求。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人四川大學(xué);
- 發(fā)明人許斌;劉乾乾;
- 地址610065 四川省成都市武侯區(qū)一環(huán)路南一段24號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201620245234.7
- 申請(qǐng)時(shí)間2016年03月29日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN205520068U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年08月31日
- 分類號(hào)B23K26/00(2014.01)I;B23K26/70(2014.01)I;
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