摘要：本實(shí)用新型公開了一種分光干涉膜厚測(cè)量?jī)x，包括樣品臺(tái)、連接臂、電動(dòng)機(jī)、移動(dòng)座、鏡頭、光源、分光模塊和計(jì)算機(jī)，所述連接臂的一端安裝于所述樣品臺(tái)的一側(cè)，所述連接臂的另一端與所述電動(dòng)機(jī)連接，所述電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)軸與所述移動(dòng)座的一側(cè)連接，所述鏡頭安裝于所述移動(dòng)座上，所述光源的信號(hào)輸出端和所述分光模塊的信號(hào)輸出端均與所述鏡頭連接，所述計(jì)算機(jī)的信號(hào)輸出端與所述分光模塊的信號(hào)輸入端連接。本實(shí)用新型設(shè)計(jì)一種結(jié)構(gòu)較為簡(jiǎn)單的分光干涉膜厚測(cè)量?jī)x，能夠精確的測(cè)量出分光噶社的膜厚，其性能較為穩(wěn)定。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人北京普瑞微納科技有限公司;
- 發(fā)明人雷楓;李少博;問孝明;
- 地址100080 北京市海淀區(qū)中關(guān)村東路95號(hào)8號(hào)樓415室
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201420114500.3
- 申請(qǐng)時(shí)間2014年03月14日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN204043622U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2014年12月24日
- 分類號(hào)G01B11/06(2006.01)I;
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