摘要：本發(fā)明公開了一種測量AR減反膜厚度和折射率的方法，本發(fā)明的AR減反膜測量方法涉及的裝置結(jié)構(gòu)簡單，測量速度快，測量準(zhǔn)確的特點，與橢偏儀相比，本測量方法無活動部件，所以運行的可靠性很高，同時信號采集速度也很高，所以可以用于在線測量。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人蘇州精創(chuàng)光學(xué)儀器有限公司;
- 發(fā)明人尚修鑫;
- 地址215300 江蘇省蘇州市昆山市開發(fā)區(qū)章基路189號
- 申請?zhí)?/b>CN201410603824.8
- 申請時間2014年11月03日
- 申請公布號CN104296671A
- 申請公布時間2015年01月21日
- 分類號G01B11/06(2006.01)I;G01N21/55(2014.01)I;
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