摘要：本發(fā)明公開了一種基于互電容測(cè)量原理的梳齒式柱面電容傳感器。結(jié)構(gòu)組成由外到內(nèi)依次為傳感器外殼、絕緣基質(zhì)層和結(jié)構(gòu)相同的四組互電容測(cè)量單元。四組互電容測(cè)量單元沿絕緣基質(zhì)層內(nèi)圓周向等距分布，每組由第一、第二梳齒式電容極板構(gòu)成。傳感器用于高精密軸系轉(zhuǎn)子的徑向運(yùn)動(dòng)誤差測(cè)量，作為定子同軸安裝于被測(cè)轉(zhuǎn)子外。測(cè)量時(shí)，轉(zhuǎn)子產(chǎn)生的徑向跳動(dòng)將引起對(duì)應(yīng)互電容測(cè)量單元總體電容值的改變，通過對(duì)電容值測(cè)量并進(jìn)行合理的數(shù)學(xué)運(yùn)算，可得到被測(cè)轉(zhuǎn)子的徑向跳動(dòng)位移值。本發(fā)明采用互電容測(cè)量原理，轉(zhuǎn)子只作為被測(cè)對(duì)象而不含在傳感器的結(jié)構(gòu)配置中，簡化了傳感器的配置形式，更加適合于轉(zhuǎn)子運(yùn)動(dòng)誤差的動(dòng)態(tài)實(shí)時(shí)測(cè)量，同時(shí)對(duì)被測(cè)轉(zhuǎn)子構(gòu)成材料無特殊要求。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人浙江大學(xué);杭州電子科技大學(xué);
- 發(fā)明人相奎;王文;盧科青;張敏;陳子辰;
- 地址310027 浙江省杭州市西湖區(qū)浙大路38號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201310750794.9
- 申請(qǐng)時(shí)間2013年12月30日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103743330B
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年07月20日
- 分類號(hào)G01B7/00(2006.01)I;
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