摘要：本發(fā)明公開(kāi)了半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種腔室氣流控制系統(tǒng)及方法。本發(fā)明包括PCC控制器和至少一個(gè)腔室控制單元；腔室控制單元包括壓力傳感器、風(fēng)機(jī)過(guò)濾器、和所述風(fēng)機(jī)過(guò)濾器連接的狀態(tài)檢測(cè)單元、與所述壓力傳感器、風(fēng)機(jī)過(guò)濾器和狀態(tài)檢測(cè)單元連接的數(shù)據(jù)處理單元、和所述數(shù)據(jù)處理單元連接的數(shù)據(jù)傳輸單元。本發(fā)明能夠?qū)η皇覂?nèi)的氣體壓力進(jìn)行實(shí)時(shí)控制，使得腔室內(nèi)的氣體壓力維持在設(shè)定值。
- 專(zhuān)利類(lèi)型發(fā)明專(zhuān)利
- 申請(qǐng)人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人張明;徐俊成;馬嘉;
- 地址100015 北京市朝陽(yáng)區(qū)酒仙橋東路1號(hào)M2樓2層
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201210556490.4
- 申請(qǐng)時(shí)間2012年12月20日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103041660A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2013年04月17日
- 分類(lèi)號(hào)B01D46/46(2006.01)I;
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