摘要：一種籽晶傳動裝置，屬于真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。包括籽晶軸、水電連接機構(gòu)、稱重機構(gòu)、調(diào)節(jié)平臺和支撐機構(gòu)，所述與調(diào)節(jié)平臺固定支架連接的絲杠絲母結(jié)構(gòu)設(shè)置在支撐機構(gòu)上，絲杠與第二電機輸出軸連接，還包括有與絲杠連接的輔助驅(qū)動機構(gòu)，在斷電時可進行手動操作。本發(fā)明在水電連接機構(gòu)中，采用了導(dǎo)電滑環(huán)及旋轉(zhuǎn)接頭并用的結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)籽晶桿自轉(zhuǎn)時電、水的連接。在稱重機構(gòu)中采用了膨脹節(jié)密封結(jié)構(gòu)，使稱重傳感器可根據(jù)實際樣品適當選擇量程，使得大氣下的稱重傳感器可精確測量真空內(nèi)樣品的重量。精度調(diào)節(jié)中采用了雙導(dǎo)軌及滑塊，使其運動靈活，微分頭的使用不但使其操作更加方便且實現(xiàn)了微調(diào)，精調(diào)。支撐機構(gòu)采用鋁型材機構(gòu)，可有效的減輕重量，且總體美觀。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司;
- 發(fā)明人王宏宇;郭東民;黃曉霞;張國棟;佟輝;呂琪;王堯;
- 地址110168 遼寧省沈陽市渾南新區(qū)新源街一號
- 申請?zhí)?/b>CN201010556151.7
- 申請時間2010年11月24日
- 申請公布號CN102477587B
- 申請公布時間2014年04月16日
- 分類號C30B35/00(2006.01)I;
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