摘要：本發(fā)明涉及干式真空泵領(lǐng)域，具體涉及一種用于多級干式真空泵的脈沖水冷系統(tǒng)。本發(fā)明包括循環(huán)水冷源、流量傳感器、第一單向閥、水路分配器、多個電磁閥、多個水冷裝置、第二單向閥、多個溫度傳感器和控制主板。本發(fā)明的冷卻水由進(jìn)氣水路通過流量傳感器和單向閥進(jìn)入水路分配器，根據(jù)各支路的電磁閥開啟大小以不同流量流經(jīng)到各支路水冷塊(排)，對泵組各部進(jìn)行冷卻降溫；根據(jù)安置在其對應(yīng)部位的溫度傳感器反饋給控制主板，控制系統(tǒng)據(jù)此對各電磁閥發(fā)出控制指令，電磁閥的開啟大小控制分支水路流量，達(dá)到閉環(huán)控制；總進(jìn)水路在通過水路分配器后按不同流量呈脈沖方式對各分支水路進(jìn)行冷卻水的分配，以實現(xiàn)對泵體各部溫度的實時控制。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司;
- 發(fā)明人王光玉;孔祥玲;湯劍;雷震霖;
- 地址110168 遼寧省沈陽市渾南新區(qū)新源街1號
- 申請?zhí)?/b>CN201410627868.4
- 申請時間2014年11月10日
- 申請公布號CN105649970A
- 申請公布時間2016年06月08日
- 分類號F04B53/08(2006.01)I;F04B49/06(2006.01)I;
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