摘要：本發(fā)明涉及一種真空泵，具體涉及一種三軸羅茨真空泵。包括電機(jī)、主軸和從動(dòng)軸，主軸上裝配有主動(dòng)齒輪，與主動(dòng)齒輪相嚙合的從動(dòng)齒輪裝配在從動(dòng)軸上，在主軸和從動(dòng)軸上裝有羅茨轉(zhuǎn)子，所述的從動(dòng)軸有兩根，平行且對(duì)稱的裝配在主軸的兩側(cè)。本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)緊湊、結(jié)構(gòu)對(duì)稱、三作用抽氣和泵腔內(nèi)無(wú)油的特點(diǎn)，能實(shí)現(xiàn)較大的抽氣速率。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人東北大學(xué);中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司;
- 發(fā)明人劉坤;巴德純;岳向吉;李培印;王光玉;張振厚;
- 地址110819 遼寧省沈陽(yáng)市和平區(qū)文化路3號(hào)巷11號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201010565609.5
- 申請(qǐng)時(shí)間2010年11月30日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN101985935B
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2012年12月26日
- 分類號(hào)F04C25/02(2006.01)I;F04C18/14(2006.01)I;
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