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北京恒奧德儀器儀表有限公司
HAD-TS-2
沈陽(yáng)大學(xué)
詳細(xì)說(shuō)明
便攜式四探針測(cè)試儀/四探針檢測(cè)儀/電阻率檢測(cè)儀 型號(hào):HAD-TS-2
測(cè)量范圍寬、度、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作的便攜式設(shè)計(jì)
體積僅為：125mm(寬)*145mm()*245mm(深)
HAD-TS-2/TS-2A型便攜式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法家標(biāo)準(zhǔn)并參考美 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的，用于測(cè)量硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。
儀器采用了新電子術(shù)行設(shè)計(jì)、裝配。具有能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快、度、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等點(diǎn)。如有需要可加配測(cè)試臺(tái)使用。
本儀器廣泛應(yīng)用于太陽(yáng)能單晶（多晶）生產(chǎn)廠家為硅材料的分選測(cè)試，半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。
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術(shù) 標(biāo) ：
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便攜式四探針測(cè)試儀按測(cè)量范圍可選配HAD-TS-2型或HAD-TS-2A型，區(qū)別：測(cè)量范圍不樣。
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HAD-TS-2測(cè)量范圍
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電阻率：0.01～1999.9Ω.cm；
方塊電阻：0.1～19999Ω/□；
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HAD-TS-2A測(cè)量范圍
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電阻率：0.001～199.99Ω.cm；
方塊電阻：0.01～1999.9Ω/□；
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HAD-TS-2恒流源
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電流量程分為100μA、1mA兩檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)
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HAD-TS-2A恒流源
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電流量程分為1mA、10mA兩檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)
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數(shù)字電壓表
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量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ；
度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；性、量程自動(dòng)顯示；
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四探針探頭基本標(biāo)
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間距：1±0.01mm；
針間緣電阻：≥1000MΩ；
機(jī)械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
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四探針探頭應(yīng)用參數(shù)
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(見(jiàn)探頭附帶的合格證)
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模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差
( 按JJG508-87行)
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1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
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整機(jī)測(cè)量大相對(duì)誤差
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(用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±5%
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整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度
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≤5%
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外型尺寸
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125mm(寬)*145mm()*245mm(深)
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標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境
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溫度：23±2℃；
相對(duì)濕度：≤65%；
無(wú)頻干擾；
無(wú)強(qiáng)光直射；
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