※探針架結(jié)構(gòu)如如圖4所示,它具有三維調(diào)節(jié)功能。打點器架的結(jié)構(gòu)相同。
圖5、打點器結(jié)構(gòu)
1、墨盒2、打點線3、頂緊螺釘4、限位螺母5、定位螺母
※顯微鏡及環(huán)形燈
本機配備體式顯微鏡,顯微鏡的變倍倍率是4~100倍,物距100mm。詳細參見顯微鏡的說明。
本機配備環(huán)形照明燈,220V 8W。
三、使用方法
1、測試準備
(1)根據(jù)待測芯片單元圖形情況選擇需要的探針架個數(shù),將探針架安裝在固定盤上。
(2)將要測試的半導體芯片放在承片臺上??梢赞D(zhuǎn)動左手下部旋鈕使圖形對在垂直位置。
(3) 在顯微鏡下校對探針的位置,使之對準在芯片單元相應的焊點上,針尖的高度一致。同時檢查測試連線使之接好。
(4)打點器安裝在固定盤上,并對位在同一個芯片單元圖形內(nèi),插頭接在機器相應的插座上。
(5)將環(huán)形燈接頭插在相應的插口上(也可直接插在220V電源上)。
(6)將電源線插到220V電源上。
2、測試過程
(1)右手移動工作臺上的受柄,在顯微鏡下觀察探針對位到要測試的芯片單元圖形的相應焊點上。
(2)對好位置后,左手順時針旋轉(zhuǎn)左側(cè)上部的旋鈕使承片臺向上移動,針和芯片的焊點接觸,觀看測試儀輸出信號,判斷芯片是否合格。(3)有不合格的芯片單元時,右手按動手柄上部的按鈕,打點器打點在該芯片單元上,合格的不用打點。然后,逆時旋轉(zhuǎn)左側(cè)上部旋鈕承片臺下移。進入下一個芯片單元的測試 。如果芯片圖形位置不垂直,轉(zhuǎn)動左手下部手輪調(diào)直,如此往復,完成整個芯片單元的測試。
本機也可測試單個或多個芯片。
3、測試完成
(1)將測試后的芯片從承片臺上取下。
(2)安裝下一個要測試的芯片,如芯片單元圖形與上一次測試的相同,不用動針的位置。繼續(xù)測試。如不同要重新校對探針位置后再開始測試。
(3)整個測試完成后,把電源線從220V插座上拔掉,保證安全。
四、注意事項
1、顯微鏡光學鏡頭注意保養(yǎng),防潮、防震、防塵。
2、承片臺表面不要劃壓。
3、上移承片臺時注意不要讓探針碰到承片臺上,防止探針尖部損壞。
4、打點器墨盒要經(jīng)常清理,防止堵塞,特別是長時間不用時要清洗掉殘留墨汁。
附件:設(shè)備清單
1、探針臺主機------------1套
2、探針架加探針----------6套
3、打點器----------------1套
4、體式顯微鏡------------1套
5、環(huán)形燈----------------1個
6、220V-24V開關(guān)電源-----1個
7、電源接線--------------1條
8、體式顯微鏡說明書------1頁
9、木質(zhì)外包裝箱----------1個