硅烷即硅與氫的化合物，是一系列化合物的總稱，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些的硅氫化合物。目前應(yīng)用多的是甲硅烷。一般把甲硅烷簡稱做硅烷。
可長時(shí)間連續(xù)工作PTM400-SiH4硅烷分析儀產(chǎn)品特點(diǎn)：
* 外觀整潔大方，防爆、防震
* 、高分辨率，響應(yīng)快速
* 采用容量鋰電充電電池，可長時(shí)間連續(xù)工作
* 通過采樣手柄可以達(dá)到1.5米的采樣距離遠(yuǎn)
* 數(shù)字LCD背光顯示，聲光報(bào)警功能
* 上、下限報(bào)警值可設(shè)定，可進(jìn)行零點(diǎn)和目標(biāo)點(diǎn)校準(zhǔn)，內(nèi)置
溫度補(bǔ)償，維護(hù)方便
* 寬量程，量程可達(dá)到50000ppm、100.00%Vol 、100.0%LEL
* 操作簡單，具有數(shù)據(jù)恢復(fù)功能，免去誤操作引起的
可長時(shí)間連續(xù)工作PTM400-SiH4硅烷分析儀參數(shù)：
檢測(cè)氣體：硅烷
檢測(cè)原理：電化學(xué)
檢測(cè)范圍：0～1ppm、50ppm可選
分 辨 率：0.01ppm
檢測(cè)方式：泵吸式
顯示方式：LCD液晶背光顯示
檢測(cè)精度：±2%.FS
報(bào)警方式：聲光報(bào)警(報(bào)警點(diǎn)可調(diào))
響應(yīng)時(shí)間：小于30S
恢復(fù)時(shí)間：小于40S
線性誤差：±1.0%
不確定度：2%Rd±0.1
零點(diǎn)漂移：≤±2.0%FS/年
跨度漂移：≤±1.0%FS/月
工作電源：DC3.6V
傳感器壽命：2年以上
使用環(huán)境：溫度-20℃~+70℃；相對(duì)濕度≤95%RH（非凝露）；在凝露環(huán)境下使用需訂制
電池容量：3.6VDC，5000mA ,帶充電保護(hù)功能
外型尺寸：180×190×100mm(L×W×H)
配件：0.8m采樣手柄一根，儀器箱一個(gè)，充電器一個(gè)
重 量：1.5Kg
可長時(shí)間連續(xù)工作PTM400-SiH4硅烷分析儀
硅烷作為一種提供硅組分的氣體源，可用于高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質(zhì)硅、各種金屬硅化物。 因其高純度和能實(shí)現(xiàn)精細(xì)控制，已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。硅烷應(yīng)用于微電子、光電子工業(yè)， 用于太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層， 并且是迄今上的大規(guī)模粒狀高純度硅的中間產(chǎn)物。硅烷的應(yīng)用還在不斷出現(xiàn), 包括用于陶瓷、復(fù)合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成為許多新、新材料、新器件的基礎(chǔ)。硅烷又以它的自燃、爆炸性而著稱。硅烷有寬的自發(fā)著火范圍和的燃燒能量，決定了它是一種高危險(xiǎn)性的氣體。
