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九州空間
4219 (JZ-SCG)
詳細(xì)說明
公司網(wǎng)址;http://www.jzyq18.com
JZ-SCG高低溫真空探針臺
低溫和高溫真空探針臺
SEMISHARE真空環(huán)境高低溫測試技術(shù)
以下兩個應(yīng)用需要真空測試環(huán)境。
極低溫測試:
因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測試時，空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上，會導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
高溫?zé)o氧化測試：
當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時，氧化現(xiàn)象會越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會導(dǎo)致晶圓電性誤差，物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象，定位好的探針與器件電極間會有相對位移，這時需要針座的重新定位，SEMISHARE針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調(diào)整探針的位置。
SCG-C-4(閉循環(huán))/SCG-O-4(開循環(huán))特點(diǎn)：
載物Chuck 溫度范圍：4.2K-480K
外置4個定位針臂，預(yù)留2個
探針X-Y-Z三方向移動，行程：25mm，定位精度：10微米
多可以外置6個定位針臂
載物chuck 可到2寸
雙屏蔽chuck高低溫時達(dá)到100FA 的測試精度
針臂定位精度可以升級為0.7微米
極限真空到10-10 torr
可以選擇射頻配件做67 GHz的射頻測試
可以選擇防震桌
可以選擇超高真空腔體
客戶訂制
溫控規(guī)格:
控溫范圍
4K-480K
控溫精度
0.1K
溫度穩(wěn)定性
4 K + - 0.2 K
77 K + - 0.1 K
373 K + - 0.08 K
473 K + - 0.1 K
823 K + - 0.2 K(可選)
973 K + - 1.0K(可選)
常溫到8K冷卻時間:
1小時40分鐘
8K到常溫升溫時間:
1小時30分鐘
從常溫開始的升溫時間
200 ℃ 550℃ 700 ℃
(4 chuck，單位分：秒)
1:00 1:30 2:00
電源
直流
材質(zhì)
不銹鋼
功率(4chuck)
850W
機(jī)械規(guī)格
針座行程
X軸方向
25.4mm(1 inch)
可以選擇50.8mm
Y軸方向
25.4mm(1 inch)
可以選擇50.8mm
Z軸方向
25.4mm(1 inch)
可以選擇50.8mm
移動精度
X軸方向
10 micron
可以選擇0.35,0.7,5,10 or 20 micron
Y軸方向
10 micron
可以選擇0.35,0.7,5,10 or 20 micron
Z軸方向
10 micron
可以選擇0.35,0.7,5,10 or 20 micron
探針可旋轉(zhuǎn)角度
+-5 度
光學(xué)部件規(guī)格
顯微鏡X-Y軸方向行程
2"*2"
可以選擇4"*4"
總共放大倍率
240X
可以選擇更高倍率
真空腔觀察窗口
2 inch
外部石英材質(zhì)99%紅外線穿過率
內(nèi)部吸收紅外線僅可見光通過
光源
150W可連續(xù)調(diào)節(jié)
雙光纖導(dǎo)引
可選附件
防震桌
方形chuck
分子泵組
射頻部件
Chuck可外部移動裝置
客戶定制。
