※探針架結(jié)構(gòu)如如圖4所示,它具有三維調(diào)節(jié)功能。打點(diǎn)器架的結(jié)構(gòu)相同。
圖5、打點(diǎn)器結(jié)構(gòu)
1、墨盒2、打點(diǎn)線(xiàn)3、頂緊螺釘4、限位螺母5、定位螺母
※顯微鏡及環(huán)形燈
本機(jī)配備體式顯微鏡,顯微鏡的變倍倍率是4~100倍,物距100mm。詳細(xì)參見(jiàn)顯微鏡的說(shuō)明。
本機(jī)配備環(huán)形照明燈,220V 8W。
三、使用方法
1、測(cè)試準(zhǔn)備
(1)根據(jù)待測(cè)芯片單元圖形情況選擇需要的探針架個(gè)數(shù),將探針架安裝在固定盤(pán)上。
(2)將要測(cè)試的半導(dǎo)體芯片放在承片臺(tái)上??梢赞D(zhuǎn)動(dòng)左手下部旋鈕使圖形對(duì)在垂直位置。
(3) 在顯微鏡下校對(duì)探針的位置,使之對(duì)準(zhǔn)在芯片單元相應(yīng)的焊點(diǎn)上,針尖的高度一致。同時(shí)檢查測(cè)試連線(xiàn)使之接好。
(4)打點(diǎn)器安裝在固定盤(pán)上,并對(duì)位在同一個(gè)芯片單元圖形內(nèi),插頭接在機(jī)器相應(yīng)的插座上。
(5)將環(huán)形燈接頭插在相應(yīng)的插口上(也可直接插在220V電源上)。
(6)將電源線(xiàn)插到220V電源上。
2、測(cè)試過(guò)程
(1)右手移動(dòng)工作臺(tái)上的受柄,在顯微鏡下觀察探針對(duì)位到要測(cè)試的芯片單元圖形的相應(yīng)焊點(diǎn)上。
(2)對(duì)好位置后,左手順時(shí)針旋轉(zhuǎn)左側(cè)上部的旋鈕使承片臺(tái)向上移動(dòng),針和芯片的焊點(diǎn)接觸,觀看測(cè)試儀輸出信號(hào),判斷芯片是否合格。(3)有不合格的芯片單元時(shí),右手按動(dòng)手柄上部的按鈕,打點(diǎn)器打點(diǎn)在該芯片單元上,合格的不用打點(diǎn)。然后,逆時(shí)旋轉(zhuǎn)左側(cè)上部旋鈕承片臺(tái)下移。進(jìn)入下一個(gè)芯片單元的測(cè)試 。如果芯片圖形位置不垂直,轉(zhuǎn)動(dòng)左手下部手輪調(diào)直,如此往復(fù),完成整個(gè)芯片單元的測(cè)試。
本機(jī)也可測(cè)試單個(gè)或多個(gè)芯片。
3、測(cè)試完成
(1)將測(cè)試后的芯片從承片臺(tái)上取下。
(2)安裝下一個(gè)要測(cè)試的芯片,如芯片單元圖形與上一次測(cè)試的相同,不用動(dòng)針的位置。繼續(xù)測(cè)試。如不同要重新校對(duì)探針位置后再開(kāi)始測(cè)試。
(3)整個(gè)測(cè)試完成后,把電源線(xiàn)從220V插座上拔掉,保證安全。
四、注意事項(xiàng)
1、顯微鏡光學(xué)鏡頭注意保養(yǎng),防潮、防震、防塵。
2、承片臺(tái)表面不要?jiǎng)潐骸?/strong>
3、上移承片臺(tái)時(shí)注意不要讓探針碰到承片臺(tái)上,防止探針尖部損壞。
4、打點(diǎn)器墨盒要經(jīng)常清理,防止堵塞,特別是長(zhǎng)時(shí)間不用時(shí)要清洗掉殘留墨汁。
附件:設(shè)備清單
1、探針臺(tái)主機(jī)------------1套
2、探針架加探針----------6套
3、打點(diǎn)器----------------1套
4、體式顯微鏡------------1套
5、環(huán)形燈----------------1個(gè)
6、220V-24V開(kāi)關(guān)電源-----1個(gè)
7、電源接線(xiàn)--------------1條
8、體式顯微鏡說(shuō)明書(shū)------1頁(yè)
9、木質(zhì)外包裝箱----------1個(gè)