摘要：本實(shí)用新型公開了一種多晶硅鑄錠爐熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)，由固定隔熱籠、底部隔熱板和頂部隔熱板所形成的中空爐腔；設(shè)置在爐腔中央，用于作為晶體生長(zhǎng)的容器的坩堝，其底部通過(guò)石墨支撐支撐，石墨支撐底部設(shè)置有熱交換塊；以及中空夾層結(jié)構(gòu)的隔熱塊，其同軸套裝在熱交換塊的外周，其中隔熱塊的內(nèi)壁與熱交換塊外周壁面具有間隙，外壁固定設(shè)置在固定隔熱籠內(nèi)壁上，該隔熱塊頂部低于熱交換塊頂部所在平面。本實(shí)用新型的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)優(yōu)化了石墨支撐側(cè)壁附近流場(chǎng)及溫度場(chǎng)分布，不僅可以降低化料過(guò)程能耗，而且可以有效抑制形核初期坩堝底部側(cè)壁附近晶粒的快速生長(zhǎng)，可以獲得微凸和較為平直的凝固界面，能夠降低硅錠內(nèi)部熱應(yīng)力，減少微觀破裂的產(chǎn)生，從而提高定向凝固多晶硅錠質(zhì)量。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人華中科技大學(xué);
- 發(fā)明人方海生;王森;趙超杰;田俊;張之;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區(qū)珞喻路1037號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201420669666.1
- 申請(qǐng)時(shí)間2014年11月11日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN204265887U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年04月15日
- 分類號(hào)C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I;
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