摘要：本實用新型公開了一種掃描式微波反射法載流子復(fù)合壽命測試系統(tǒng)，該測試系統(tǒng)包括脈沖激光系統(tǒng)、微波系統(tǒng)、數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)、掃描運動系統(tǒng)、運動控制系統(tǒng)，測試控制系統(tǒng)和探頭，掃描運動系統(tǒng)用于將探頭進(jìn)行三維定位，運動控制系統(tǒng)分別與掃描運動系統(tǒng)、測試控制系統(tǒng)相連，用于根據(jù)測試控制系統(tǒng)指令驅(qū)動掃描運動系統(tǒng)動作；脈沖激光系統(tǒng)、微波系統(tǒng)均設(shè)置在探頭內(nèi)，微波系統(tǒng)與數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)相連，數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)和測試控制系統(tǒng)相連。脈沖激光系統(tǒng)產(chǎn)生脈沖式的紅外激光，穿過微波系統(tǒng)中微帶天線的中間開孔垂直照射在樣品臺上的被測樣品表面。本實用新型可對大面積的半導(dǎo)體晶體材料進(jìn)行載流子壽命分布情況的掃描式測量，且結(jié)構(gòu)更加緊湊，探頭體積小。
- 專利類型實用新型
- 申請人廣州市昆德科技有限公司;
- 發(fā)明人王昕;李俊生;馮小明;田蕾;
- 地址510650 廣東省廣州市天河區(qū)白沙水路123號東門三樓
- 申請?zhí)?/b>CN201420582020.X
- 申請時間2014年10月09日
- 申請公布號CN204154617U
- 申請公布時間2015年02月11日
- 分類號G01N17/00(2006.01)I;G01N22/00(2006.01)I;
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