摘要：本實用新型公開了一種換熱器均流裝置，包括換熱器、回風(fēng)盒、回風(fēng)盒下側(cè)設(shè)有出風(fēng)口，所述換熱器與回風(fēng)盒之間設(shè)有均流板，所述均流板劃分至少兩個不同的區(qū)域，所述均流板各區(qū)域設(shè)有若干個供氣流通過的通孔，所述通孔大小和/或分布密度自上而下逐漸減小。本實用新型提供的一種換熱器均流裝置，改善半導(dǎo)體設(shè)備微環(huán)境內(nèi)部流場的均勻性，使流通換熱器的氣流均流，提高換熱器的使用效率，具有占用空間小、均流效果好、結(jié)構(gòu)設(shè)計簡單和具有可調(diào)性等優(yōu)點(diǎn)。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人宋新豐;王麗榮;
- 地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號
- 申請?zhí)?/b>CN201320891783.8
- 申請時間2013年12月31日
- 申請公布號CN203642774U
- 申請公布時間2014年06月11日
- 分類號F28F9/22(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;
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