摘要：本實(shí)用新型公開了一種化學(xué)液混合裝置，包括：化學(xué)液返回管、化學(xué)液回收管、補(bǔ)充液輸出管第一混合器和第二混合器，所述化學(xué)液返回管、化學(xué)液回收管和補(bǔ)充液輸出管的輸出端連接為一個(gè)第一輸出端；所述第一混合器與第一輸出端連接；所述第二混合器通過液體輸送管與第二混合器連接。本實(shí)用新型提供的化學(xué)液混合方法及裝置，可以有效解決現(xiàn)有半導(dǎo)體工藝設(shè)備中存在的補(bǔ)液不均勻問題，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于實(shí)現(xiàn)。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人何金群;劉福生;王銳廷;裴立坤;
- 地址100015 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號(hào)M2樓2層
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201220481508.4
- 申請(qǐng)時(shí)間2012年09月19日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN203002230U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2013年06月19日
- 分類號(hào)B01F3/08(2006.01)I;B01F13/10(2006.01)I;
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