一種應(yīng)用于輪廓儀Z軸的光柵傳感器

　　摘要：本實(shí)用新型公開了一種應(yīng)用于輪廓儀Z軸的光柵傳感器，包括左杠桿以及連接在左杠桿端頭的測(cè)針，左杠桿的另一端頭通過杠桿轉(zhuǎn)軸與右杠桿剛性連接，所述右杠桿的一端連接有一扇形塊，在扇形塊的圓弧端面粘貼有鋼帶光柵尺，鋼帶光柵尺的一側(cè)設(shè)置有光柵讀數(shù)頭。本實(shí)用新型提高了輪廓儀的綜合測(cè)量精度，增大了輪廓儀的測(cè)量量程，使用輪廓儀的適用性更加廣泛。

專利類型實(shí)用新型
申請(qǐng)人陜西威爾機(jī)電科技有限公司;
發(fā)明人范厚杰;張濤;王海濤;馬丁;王斌;趙寶云;
地址710065 陜西省西安市高新區(qū)丈八二路16號(hào)奧德工業(yè)園內(nèi)
申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201220125818.2

申請(qǐng)時(shí)間2012年03月29日

申請(qǐng)公布號(hào)CN202501830U

申請(qǐng)公布時(shí)間2012年10月24日

分類號(hào)G01B11/24(2006.01)I;

該申請(qǐng)人其他專利（共5）

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基于自動(dòng)跟蹤的自由曲面光學(xué)元件形貌測(cè)量系統(tǒng)

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螺紋輪廓掃描裝置