摘要：本實(shí)用新型公開了一種用于制備薄膜太陽能電池吸收層的中頻感應(yīng)加熱裝置，它包括由依次連接的中頻電源控制系統(tǒng)、中頻電容補(bǔ)償器和感應(yīng)加熱器組成的中頻電加熱系統(tǒng)，還包括真空泵系統(tǒng)和用于放置并加熱太陽能電池襯底的真空腔室，所述中頻電源控制系統(tǒng)產(chǎn)生中頻交流電并經(jīng)電容補(bǔ)償器輸入感應(yīng)加熱器形成諧振槽路，所述感應(yīng)加熱器的周圍產(chǎn)生交變磁場；所述真空腔室置于所述的感應(yīng)加熱器的交變磁場內(nèi)并設(shè)有輸入反應(yīng)氣體的進(jìn)氣口、以及與所述的真空泵系統(tǒng)的抽氣管連通的抽氣口。本實(shí)用新型可實(shí)現(xiàn)對太陽能電池的襯底的非接觸式加熱，功耗低、升溫速度快、襯底溫度分布均勻。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請人東莞市匯成真空科技有限公司;
- 發(fā)明人羅志明;李志榮;李志方;李秋霞;
- 地址523838 廣東省東莞市大嶺山鎮(zhèn)顏屋村第四工業(yè)區(qū)
- 申請?zhí)?/b>CN201120288783.X
- 申請時(shí)間2011年08月10日
- 申請公布號CN202190428U
- 申請公布時(shí)間2012年04月11日
- 分類號H05B6/10(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;
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