摘要：本實用新型涉及一種臺式一體化原子力顯微鏡，包括主機和金屬屏蔽隔音箱，金屬屏蔽隔音箱內部下端設有電子控制系統(tǒng)，主機設在金屬屏蔽隔音箱內的防震裝置上，防震裝置通過四根彈簧懸掛在金屬屏蔽隔音箱內；主機的下端設有掃描器基座，掃描器基座前側面的中上方設有精密二維調節(jié)裝置，掃描器基座的頂端設有掃描器，掃描器的左右兩側對稱設有粗調驅動裝置，掃描器的后端設有微調驅動裝置；主機上端設有探針頭部，探針頭部頂端的左右兩側分別設有四象限接收器二維調整機構和激光器二維調整機構，探針頭部前側面的中下部靠近邊緣處設有探針模塊。本實用新型的有益效果為：結構簡單，使用方便；外界干擾對儀器工作影響小；具有原子與納米級的分析能力。
- 專利類型實用新型
- 申請人蘇州海茲思納米科技有限公司;
- 發(fā)明人韓雄;李立強;羅先照;
- 地址215000 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)星湖街218號生物納米園A4樓105
- 申請?zhí)?/b>CN201120163732.4
- 申請時間2011年05月20日
- 申請公布號CN202083708U
- 申請公布時間2011年12月21日
- 分類號G01Q60/36(2010.01)I;
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