摘要：本實(shí)用新型涉及一種自動光學(xué)檢測系統(tǒng)，包含一影像擷取裝置、一基準(zhǔn)標(biāo)記分析單元、一影像校正單元以及一缺陷分析單元。影像擷取裝置用以擷取一待測樣品的影像?；鶞?zhǔn)標(biāo)記分析單元與影像擷取裝置電性連接，用以找出影像中的基準(zhǔn)標(biāo)記。影像校正單元與基準(zhǔn)標(biāo)記分析單元電性連接，用以依據(jù)基準(zhǔn)標(biāo)記校正影像并輸出一校正影像。缺陷分析單元與影像校正單元電性，用以分析校正影像是否存在缺陷。上述自動光學(xué)檢測系統(tǒng)可改善因待測樣品晃動所造成的影像位移的問題。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請人上海中晶科技有限公司;
- 發(fā)明人林君諺;吳金來;金山;
- 地址200233 上海市漕河涇開發(fā)區(qū)桂平路680號35號樓
- 申請?zhí)?/b>CN201020187070.X
- 申請時(shí)間2010年05月07日
- 申請公布號CN201673124U
- 申請公布時(shí)間2010年12月15日
- 分類號G01N21/88(2006.01)I;
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