摘要：本發(fā)明實(shí)施例提供一種曝光機(jī)及其圖像偏移防治方法和系統(tǒng)，通過(guò)在軸承和升降桿相連接的一端設(shè)置由透明材料制成的防塵罩，便于通過(guò)人工或機(jī)器視覺(jué)方式檢測(cè)軸承是否已磨損，從而有效防治因軸承磨損掉落殘?jiān)鴮?dǎo)致的光阻圖像產(chǎn)生局部偏移的現(xiàn)象，可以有效提高黃光制程中經(jīng)光刻蝕得到的玻璃基板的良品率，從而提高黃光制程的生產(chǎn)效率。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人惠科股份有限公司;重慶惠科金渝光電科技有限公司;
- 發(fā)明人溫俊斌;
- 地址518000 廣東省深圳市寶安區(qū)石巖街道水田村民營(yíng)工業(yè)園惠科工業(yè)園廠房1、2、3棟，九州陽(yáng)光1號(hào)廠房6、7樓
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201710020601.2
- 申請(qǐng)時(shí)間2017年01月11日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN106527062A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2017年03月22日
- 分類號(hào)G03F7/20(2006.01)I;
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