摘要：本發(fā)明公開了一種負載有納米銀的氟化石墨烯復合材料的制備方法，包括如下步驟：1)將石墨烯薄膜至于PECVD反應室中，設壓力為5×10?4?10?3Pa，溫度為200?600℃，等離子體產(chǎn)生的微波功率為300?500W，以氬氣為載體，通入氟氣，反應1?20h，得到氟化石墨烯薄膜；2)將得到的氟化石墨烯薄膜轉移至原子沉積腔室中，采用惰性氣體除氣20min?30min，調(diào)節(jié)超真空反應腔的真空度為10?6?10?7Pa，調(diào)節(jié)溫度為400℃?700℃；3)以銀為靶材，通過電子束轟擊蒸發(fā)形成銀反應氣源，通入到沉積腔室中，時間為20?100ns，再通入惰性載氣50?200ns，重復步驟5?20min，交替通入銀反應氣源和惰性載氣，在氟化石墨烯薄膜上生長形成納米銀，得到負載有納米銀的氟化石墨烯復合材料。本發(fā)明得到的復合材料具有優(yōu)良性能。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人廈門烯成石墨烯科技有限公司;
- 發(fā)明人王振中;
- 地址361015 福建省廈門市火炬高新區(qū)創(chuàng)業(yè)園偉業(yè)樓南樓S301c室
- 申請?zhí)?/b>CN201610594377.3
- 申請時間2016年07月26日
- 申請公布號CN106086820A
- 申請公布時間2016年11月09日
- 分類號C23C16/511(2006.01)I;C23C16/30(2006.01)I;C23C14/30(2006.01)I;C23C14/18(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I;
教育裝備采購網(wǎng)企業(yè)微信客服
京公網(wǎng)安備11010802043465號
