摘要：本發(fā)明公開了基于激光超聲的表面缺陷開口寬度的測量裝置及其方法。其步驟為：1)脈沖激光器探頭和激光干涉儀探頭放置在工件表面缺陷的一側(cè)；2)脈沖激光器在工件表面激勵出聲表面波，激光干涉儀分別測得直達(dá)表面波信號R1和從缺陷反射回的表面波信號RR1；3)控制二維位移平臺運動，使脈沖激光器探頭和激光干涉儀探頭在表面缺陷的另外一側(cè)；4)重復(fù)步驟2)，干涉儀測得直達(dá)表面波信號R2和從缺陷反射回的表面波信號RR2；5)通過兩次干涉儀測量得到的直達(dá)表面波信號和缺陷回波信號到達(dá)時間，以及二維運動平臺運動位移d，計算出表面缺陷的開口寬度。本發(fā)明能夠用于在位檢測，且對于不同內(nèi)部形狀的開口缺陷均能準(zhǔn)確測得開口的寬度。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人浙江大學(xué);
- 發(fā)明人居冰峰;王傳勇;薛茂盛;朱吳樂;孫澤清;孫安玉;
- 地址310027 浙江省杭州市西湖區(qū)浙大路38號
- 申請?zhí)?/b>CN201610524370.4
- 申請時間2016年06月29日
- 申請公布號CN106017371A
- 申請公布時間2016年10月12日
- 分類號G01B17/00(2006.01)I;G01B11/02(2006.01)I;
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