摘要：本發(fā)明公開了一種基于波形匹配方法的石英晶片研磨控制方法，能在石英晶片研磨過(guò)程中穩(wěn)定實(shí)時(shí)地測(cè)量從5M到70MHZ的頻率；本系統(tǒng)可以顯示晶片研磨生產(chǎn)過(guò)程中的各種狀態(tài)并提出建議，在線測(cè)頻過(guò)程中實(shí)時(shí)監(jiān)控石英晶片研磨狀態(tài)，若出現(xiàn)異常情況實(shí)時(shí)關(guān)停研磨機(jī)，防止超頻事件的發(fā)生，用戶可根據(jù)觸摸屏上顯示的這些狀態(tài)有效提高生產(chǎn)效率；加入“跳頻約束策略”徹底解決ALC系統(tǒng)“在某些頻段發(fā)生測(cè)頻值跳變”的問(wèn)題；提供晶片研磨實(shí)時(shí)平均頻率、研磨速率和散差等多樣化統(tǒng)計(jì)參數(shù)，為更換研磨砂和維修研磨盤面提供科學(xué)依據(jù)，解決ALC系統(tǒng)“無(wú)法監(jiān)控研磨機(jī)狀態(tài)”的缺陷。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人浙江大學(xué)臺(tái)州研究院;
- 發(fā)明人潘凌鋒;郭彬;陳浙泊;陳一信;
- 地址318000 浙江省臺(tái)州市市府大道西段618號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201610045507.8
- 申請(qǐng)時(shí)間2016年01月22日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN105666310A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年06月15日
- 分類號(hào)B24B37/005(2012.01)I;
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