摘要：本發(fā)明提供了一種基于特殊石英材料的聲表面波溫度傳感器，包括一個叉指電極、若干個反射柵條和襯底材料，所述叉指電極以重疊加權(quán)的形式設(shè)置在所述襯底材料上，所述若干個反射柵條以預定的相位點陣加權(quán)的形式設(shè)置在所述襯底材料上，進一步提高了器件的Q值。本發(fā)明采用聲表面波器件將溫度變化量轉(zhuǎn)化為器件中心頻率的變化量，并經(jīng)將頻率的變化量輸出，具有較高的采樣速度和精度。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京中訊四方科技股份有限公司;
- 發(fā)明人張敬鈞;董啟明;
- 地址100194 北京市海淀區(qū)蘇家坨鎮(zhèn)聶各莊路7號
- 申請?zhí)?/b>CN201310012890.3
- 申請時間2013年01月14日
- 申請公布號CN103926017A
- 申請公布時間2014年07月16日
- 分類號G01K11/22(2006.01)I;
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