摘要：一種對(duì)質(zhì)譜儀進(jìn)行真空度測(cè)量和控制的方法及設(shè)備。所述方法包括：獲取至少一個(gè)真空規(guī)管測(cè)得的腔體的真空度及真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓；根據(jù)真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓及真空規(guī)管測(cè)得的真空度確定該真空規(guī)管所測(cè)量的腔體的類型；根據(jù)各真空規(guī)管測(cè)得的真空度及所測(cè)量的腔體的類型控制質(zhì)譜儀動(dòng)作。根據(jù)本發(fā)明，能夠?qū)崟r(shí)測(cè)量主要器件所在腔體的真空度并根據(jù)測(cè)量的腔體的真空度控制質(zhì)譜儀動(dòng)作以保護(hù)質(zhì)譜儀的關(guān)鍵器件。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人鋼研納克檢測(cè)技術(shù)有限公司;
- 發(fā)明人李明;李凱;王超剛;梁斌;何小意;唐興斌;姚君;呂海馬;
- 地址100081 北京市海淀區(qū)高粱橋斜街13號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201410128779.5
- 申請(qǐng)時(shí)間2014年04月01日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103884466A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2014年06月25日
- 分類號(hào)G01L21/00(2006.01)I;G05B19/04(2006.01)I;
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