摘要：本發(fā)明屬于流體機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及用于半導(dǎo)體、節(jié)能燈、太陽能制造行業(yè)獲得真空的一種抗大氣沖擊的分子泵，本分子泵包括底盤，底盤中部安裝有電機(jī)，轉(zhuǎn)子扣裝在底盤上，泵殼通過螺釘固定扣裝在轉(zhuǎn)子與底座上，泵殼頂部設(shè)有進(jìn)氣口，底盤側(cè)面靠近底部設(shè)有排氣口；轉(zhuǎn)子由圓柱形硬質(zhì)鋁合金材料整體加工成型，轉(zhuǎn)子從頂部至底部均勻開有4～8個(gè)螺旋形排氣槽，轉(zhuǎn)子內(nèi)部設(shè)有一個(gè)安裝層，其上下兩側(cè)為中空腔體，安裝層中心位置開有一個(gè)錐形通孔；電機(jī)主軸延伸到底盤上部的部分插入轉(zhuǎn)子安裝層上的錐形通孔內(nèi)，與錐形通孔緊密配合，本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡單，便于維護(hù)，能降低生產(chǎn)成本，易于加工，轉(zhuǎn)子強(qiáng)度高，具有抗大氣沖擊能力等優(yōu)點(diǎn)。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人北京北儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限責(zé)任公司;
- 發(fā)明人董欣;郁晉軍;劉敏強(qiáng);于天化;
- 地址102600 北京市大興工業(yè)開發(fā)區(qū)前高米店盛坊路北京儀器儀表基地
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201310426284.6
- 申請(qǐng)時(shí)間2013年09月18日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103452872A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2013年12月18日
- 分類號(hào)F04D25/06(2006.01)I;F04D29/26(2006.01)I;F04D29/40(2006.01)I;F04D29/063(2006.01)I;
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