摘要：本發(fā)明涉及硅片濕法處理領(lǐng)域，具體公開了一種過濾裝置，其包括進(jìn)液口接頭、進(jìn)液口接頭連接件、過濾件、排液口接頭連接件和排液口接頭，進(jìn)液口接頭的一端外接工藝腔排液口，其另一端連接進(jìn)液口接頭連接件，所述進(jìn)液口接頭連接件與所述排液口接頭連接件連接，排液口接頭的一端連接排液口接頭連接件，其另一端外接切換閥，過濾件設(shè)置在進(jìn)液口接頭連接件和排液口接頭連接件之間。本發(fā)明通過過濾件將碎屑過濾掉，從而減少了碎屑對閥體的損害，在碎片后做維修時(shí)，只需對過濾裝置進(jìn)行維修、清理或更換，而不需要對過濾裝置之后的閥做維修，這樣降低了維修時(shí)間和維修成本，提高了閥的使用壽命。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人王波雷;張豹;賈星杰;高浩;
- 地址100015 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號M2樓2層
- 申請?zhí)?/b>CN201210457651.4
- 申請時(shí)間2012年11月14日
- 申請公布號CN102940991A
- 申請公布時(shí)間2013年02月27日
- 分類號B01D35/04(2006.01)I;
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