摘要：本發(fā)明公開了一種兆聲波換能裝置，涉及聲波換能器技術(shù)領(lǐng)域，包括：換能器(1)、振子(2)、固定裝置(3)和耦合介質(zhì)層(4)，所述振子(2)通過所述固定裝置(3)安裝于所述換能器(1)上，所述振子(2)與固定裝置(3)之間設(shè)有耦合介質(zhì)層(4)；所述換能器(1)包括微聲共振腔陣列(8)；所述微聲共振腔陣列(8)分為至少三層，其中相鄰兩層中的共振腔的軸心沿徑向錯(cuò)開腔直徑的三分之一到一半的距離。本發(fā)明能夠有效地減少或消除兆聲波干涉，避免在兆聲波腐蝕清洗工藝中產(chǎn)生一定的晶片表面和特征結(jié)構(gòu)損壞。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人吳儀;馬嘉;初國(guó)超;
- 地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號(hào)M2號(hào)樓2層
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201110355925.4
- 申請(qǐng)時(shí)間2011年11月10日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN102500540B
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2014年09月10日
- 分類號(hào)B06B1/04(2006.01)I;
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