摘要：本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中激光退火技術(shù)范圍內(nèi)的一種采用激光輔助加熱的激光退火方法及裝置，該方法主要是采取兩臺激光器，一臺激光器用于激光輔助加熱，是半導(dǎo)體表面活化，為激光退火做準(zhǔn)備工作；一臺激光器用于為半導(dǎo)體進(jìn)行激光退火。兩束激光經(jīng)過相關(guān)光學(xué)系統(tǒng)后同軸輸出，照射到掃描鏡上。掃描光學(xué)系統(tǒng)被裝配在精密機(jī)械組件上由電動控制。電動控制系統(tǒng)采用檢流計控制結(jié)構(gòu)，當(dāng)輸入電壓為-10V至+10V時，機(jī)械結(jié)構(gòu)會對應(yīng)偏轉(zhuǎn)-20°至+20°，從而可以使對輸入電壓的控制轉(zhuǎn)化為對機(jī)械結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)動角度的精確控制。光學(xué)鏡片被固定在機(jī)械結(jié)構(gòu)上，通過控制掃描光學(xué)系統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)角度來調(diào)節(jié)激光光束的照射位置。從而實(shí)現(xiàn)了激光光束在水平方向和豎直方向上的掃描。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京中科思遠(yuǎn)光電科技有限公司;
- 發(fā)明人彭海波;彭俊;劉全力;
- 地址100193 北京市海淀區(qū)東北旺南路26號院內(nèi)2號樓2層
- 申請?zhí)?/b>CN201110356480.1
- 申請時間2011年11月11日
- 申請公布號CN102489876B
- 申請公布時間2014年06月25日
- 分類號B23K26/064(2014.01)I;B23K26/082(2014.01)I;B23K26/70(2014.01)I;H01L21/268(2006.01)I;
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