摘要：本發(fā)明公開了一種高溫石英膜氦質(zhì)譜漏孔的生產(chǎn)方法，先把石英薄膜與硬質(zhì)玻璃外殼封接成一整體并形成腔體，并在硬質(zhì)玻璃外殼上保留工藝充氣孔；然后在氣壓小于0.6個(gè)大氣壓的低壓環(huán)境中，通過工藝充氣孔向腔體內(nèi)沖入高純氦氣；在所述的低壓狀況下，熔融硬質(zhì)玻璃外殼上的工藝充氣孔，使低壓氦氣保留在石英薄膜與硬質(zhì)玻璃外殼之間的腔體內(nèi)。本發(fā)明結(jié)構(gòu)、制造工藝簡單，采用低壓高純度氦氣填充工藝，克服了傳統(tǒng)石英膜氦氣標(biāo)準(zhǔn)漏孔只能在室溫下使用的缺陷，可以在高溫工況下對氦質(zhì)譜漏率進(jìn)行標(biāo)定，本發(fā)明專利特別適用于制造高溫工況下使用的石英膜氦質(zhì)譜漏孔。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人安徽皖儀科技股份有限公司;
- 發(fā)明人張晨光;黃文平;張志;
- 地址230088 安徽省合肥市高新區(qū)天達(dá)路71號華億科技園B幢皖儀大廈
- 申請?zhí)?/b>CN201110056691.3
- 申請時(shí)間2011年03月10日
- 申請公布號CN102192822B
- 申請公布時(shí)間2012年10月10日
- 分類號G01M3/02(2006.01)I;G01M3/20(2006.01)I;
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