摘要：本發(fā)明屬于流體閥門技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種可調(diào)節(jié)式真空限流閥。用于真空腔室和真空泵系統(tǒng)之間的限流閥，對真空系統(tǒng)的泵系統(tǒng)和真空腔的抽速進行限制。該限流閥由厚壁法蘭、步進電機、電機驅(qū)動器、主軸、調(diào)節(jié)裝置轉(zhuǎn)板組成。其中，厚壁法蘭的一側(cè)安裝步進電機和電機驅(qū)動器，步進電機和電機驅(qū)動器通過支桿和螺母進行固定；步進電機通過螺釘與主軸固接，主軸通過凸塊與橫向支桿和橫向支桿軸連接，凸塊由螺釘固定，橫向支桿和橫向支桿軸分別由螺釘和螺母固定，轉(zhuǎn)板通過拉板、轉(zhuǎn)軸和螺釘與調(diào)節(jié)裝置固接。本發(fā)明的有益效果是：該限流閥的結(jié)構(gòu)合理，既能達到穩(wěn)定抽速的作用，又具有體積精巧，成本低和長壽命的特點。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京泰科諾科技有限公司;
- 發(fā)明人陳良賢;施戈;
- 地址100096 北京市海淀區(qū)西三旗上奧世紀中心2A-1411
- 申請?zhí)?/b>CN201010191074.X
- 申請時間2010年05月26日
- 申請公布號CN101846190A
- 申請公布時間2010年09月29日
- 分類號F16K1/18(2006.01)I;F16K31/04(2006.01)I;F16K17/20(2006.01)I;
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