摘要：本發(fā)明公開了一種相變溫度測(cè)試系統(tǒng)，其結(jié)構(gòu)為：加熱爐的蓋板上開有通光孔，加熱爐內(nèi)設(shè)有爐腔，樣品架位于爐腔內(nèi)，并位于通光孔的正下方，在通光孔的上方放置有激光器和光電探測(cè)器，光電探測(cè)器位于待測(cè)樣品對(duì)激光束的反射光路上。本發(fā)明可以增設(shè)信號(hào)放大采集電路、溫度控制傳感電路和數(shù)據(jù)處理器。通過(guò)該系統(tǒng)測(cè)試靈敏度較高，能測(cè)定膜厚低至1nm的薄膜的相變溫度；且可直接測(cè)量薄膜樣品的相變溫度，對(duì)樣品無(wú)損傷；通過(guò)不同升溫速率下的變溫測(cè)量還可獲得更多的材料熱力學(xué)參數(shù)。操作簡(jiǎn)單，成本低廉，測(cè)試可靠度較高。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人武漢嘉儀通科技有限公司;
- 發(fā)明人繆向水;童浩;程曉敏;
- 地址湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)高新大道999號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN200910273102.X
- 申請(qǐng)時(shí)間2009年12月08日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN101726506B
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年03月02日
- 分類號(hào)G01N25/02(2006.01)I;G01N25/12(2006.01)I;
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