摘要：本發(fā)明涉及應(yīng)用于LED激光切割設(shè)備的同軸影像系統(tǒng)應(yīng)，包括同軸LED點光源模組、45度全反鏡、廣角CCD模組、第一45度分光鏡、小視野高倍率上CCD模組、第二45度分光鏡、波長選擇鏡、LED環(huán)形光源、聚焦鏡、小視野高倍率下CCD模組，同軸LED點光源模組、廣角CCD模組和小視野高倍率上CCD模組三者自上而下并排排布，波長選擇鏡安裝在上CCD模組與聚焦鏡之間，LED環(huán)形光源緊貼在聚焦鏡上，聚焦鏡正對于工件，在工件的下方安裝小視野高倍率下CCD模組。本發(fā)明實現(xiàn)在LED激光切割設(shè)備中的同軸實時影像定位功能，廣角CCD和小視野高倍率上CCD組合使用實現(xiàn)微米量級的測量精細度，小視野高倍率上CCD和小視野高倍率下CCD便捷切換滿足正切、背切、表面粗化和背鍍鋁晶圓的切割。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人蘇州德龍激光有限公司;江陰德力激光設(shè)備有限公司;
- 發(fā)明人趙裕興;徐海賓;
- 地址215021 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)蘇虹中路77號
- 申請?zhí)?/b>CN200910027563.9
- 申請時間2009年05月12日
- 申請公布號CN101559629B
- 申請公布時間2011年08月17日
- 分類號B28D7/00(2006.01)I;B28D5/04(2006.01)I;B23K26/38(2006.01)I;G01B11/00(2006.01)I;H01L33/00(2006.01)I;
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