摘要：一種平面反射式復眼冷光源曝光系統(tǒng)，屬于光刻技術領域。包括：燈源組、多面鏡組裝置、反光鏡組、曝光裝置等，其特征在于，多面鏡組裝置，包括上層鏡座、下層鏡座，上層鏡座緊密疊合于下層鏡座上；上層鏡座包括：上盤、上鏡片壓圈、上盤反光片，上鏡片壓圈置于上盤、上盤反光片之間，上盤反光片依次緊密環(huán)行成圈放列于上盤內(nèi)；下層鏡座結(jié)構類似上層鏡座。反光鏡組包括：小反光鏡組、大反光鏡組，小反光鏡組、大反光鏡組平行對峙放置，并與水平夾角為45°。一種光刻機，其特征在于，包括所述的帶有平面反射式復眼冷光源曝光系統(tǒng)。本發(fā)明提出了多層反射鏡的位置排列，大大提高了曝光均勻性，并拓展為更大的曝光面積。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人上海學澤光學機械有限公司;
- 發(fā)明人張岳方;
- 地址201108上海市閔行區(qū)老滬閔路1901號
- 申請?zhí)?/b>CN200810037366.0
- 申請時間2008年05月14日
- 申請公布號CN101349814A
- 申請公布時間2009年01月21日
- 分類號G02B27/00(2006.01);G03F7/20(2006.01);
教育裝備采購網(wǎng)企業(yè)微信客服
京公網(wǎng)安備11010802043465號
