摘要：一種內(nèi)調(diào)制型鐵電非制冷紅外焦平面探測器，由鐵電列陣1、量子阱調(diào)制器2、讀出電路3和半導(dǎo)體熱電恒溫器4組成，各部分都為平面結(jié)構(gòu)，通過粘接和互連工藝集成為一個(gè)整體；本發(fā)明減少了電極數(shù)量，增大了器件的填充因子，有利于縮小探測元間距；減少了光能損失，提高了器件的歸一化探測率，有利于提高器件作用距離的熱靈敏度；器件幀頻由原來的熱學(xué)結(jié)構(gòu)控制變成人為控制，大大提高了器件的幀頻，有利于器件在高幀頻情況下的應(yīng)用；去掉了器件的熱隔離微橋結(jié)構(gòu)，簡化了制作工藝；增加了器件的調(diào)制功能，省去了外部的斬波器，降低了整機(jī)開發(fā)難度。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人云南民族大學(xué);
- 發(fā)明人鄧芳軼;吳新社;蔡毅;王紅斌;王銳;
- 地址650031 云南省昆明市五華區(qū)一二一大街134號(hào)
- 申請?zhí)?/b>CN200710066481.6
- 申請時(shí)間2007年12月21日
- 申請公布號(hào)CN101201271B
- 申請公布時(shí)間2010年05月26日
- 分類號(hào)G01J5/12(2006.01)I;H01L27/16(2006.01)I;H01L23/38(2006.01)I;H01L21/82(2006.01)I;H01L21/50(2006.01)I;
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